Five Seidel aberrationsとは? わかりやすく解説

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ザイデルの5収差

【英】:Five Seidel aberrations

電子線光線)が完全な結像をすると仮定したときの軌道からのずれの量を収差という。単色電子線光線)が近軸電子(光)線でないために生じ3次(光線光軸となす角度αと光線光軸からの距離rの積について3次)の収差総称をという。5つ収差は、球面収差3比例)、(軸外)コマ収差(rα2比例)、非点収差像面湾曲収差(r2αに比例)、歪曲収差(r3比例)である。電子顕微鏡場合、像拡大初段、すなわち対物レンズに対しては、物体拡大する範囲小さいので、光軸上を通る電子線(r = 0)を考えればよい。したがって像のボケにはα3比例する球面収差が最も重要である。理論上次にコマ収差が重要である。(軸外)コマ収差補正の例はあるが、高倍率の像については(軸外)コマ収差効果小さい。後段にある中間レンズおよび投影レンズでは、物体対物レンズ拡大された像)は大きいので、光軸から離れた所を通る電子線による収差、すなわち距離rの次数の高い収差非点収差像面湾曲収差歪曲収差重要になる最近は球面収差補正ができるようになっている

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