5次の収差
【英】：5th order aberrations
ザイデルの5収差が、電子線の光軸への入射角αと光軸からの距離rについての3乗に比例する収差であるのに対して、次の次数である5次の収差のことで、シュワルツシルドの9収差という。Csコレクターの開発により、電子顕微鏡では3次の球面収差、および他の3次（軸上寄生）収差も補正されるようなった。(軸上)4次収差は、アライメントで補正される特徴があるため、（軸上寄生）5次収差が次に幾何的なボケの原因となる。5次の収差のうち、5次の球面収差C5α5が問題になる。しかし、(3次の)Csコレクターと転送レンズ(トランスファーレンズ)があればC5の値は可変にすることができ、C5 = 0にすることができる。二段ヘキサポール型のCsコレクターでは5次収差のうち、軸上寄生収差である6回非点収差の影響が大きく、これを小さくする努力が払われている。
ザイデルの5収差が、電子線の光軸への入射角αと光軸からの距離rについての3乗に比例する収差であるのに対して、次の次数である5次の収差のことで、シュワルツシルドの9収差という。Csコレクターの開発により、電子顕微鏡では3次の球面収差、および他の3次（軸上寄生）収差も補正されるようなった。(軸上)4次収差は、アライメントで補正される特徴があるため、（軸上寄生）5次収差が次に幾何的なボケの原因となる。5次の収差のうち、5次の球面収差C5α5が問題になる。しかし、(3次の)Csコレクターと転送レンズ(トランスファーレンズ)があればC5の値は可変にすることができ、C5 = 0にすることができる。二段ヘキサポール型のCsコレクターでは5次収差のうち、軸上寄生収差である6回非点収差の影響が大きく、これを小さくする努力が払われている。
5次の収差
【英】：5th order aberrations
ザイデルの5収差が、電子線の光軸への入射角αと光軸からの距離rについての3乗に比例する収差であるのに対して、次の次数であるのことで、シュワルツシルドの9収差という。Csコレクターの開発により、電子顕微鏡では3次の球面収差、および他の3次（軸上寄生）収差も補正されるようなった。(軸上)4次収差は、アライメントで補正される特徴があるため、（軸上寄生）5次収差が次に幾何的なボケの原因となる。のうち、5次の球面収差C5α5が問題になる。しかし、(3次の)Csコレクターと転送レンズ(トランスファーレンズ)があればC5の値は可変にすることができ、C5 = 0にすることができる。二段ヘキサポール型のCsコレクターでは5次収差のうち、軸上寄生収差である6回非点収差の影響が大きく、これを小さくする努力が払われている。
ザイデルの5収差が、電子線の光軸への入射角αと光軸からの距離rについての3乗に比例する収差であるのに対して、次の次数であるのことで、シュワルツシルドの9収差という。Csコレクターの開発により、電子顕微鏡では3次の球面収差、および他の3次（軸上寄生）収差も補正されるようなった。(軸上)4次収差は、アライメントで補正される特徴があるため、（軸上寄生）5次収差が次に幾何的なボケの原因となる。のうち、5次の球面収差C5α5が問題になる。しかし、(3次の)Csコレクターと転送レンズ(トランスファーレンズ)があればC5の値は可変にすることができ、C5 = 0にすることができる。二段ヘキサポール型のCsコレクターでは5次収差のうち、軸上寄生収差である6回非点収差の影響が大きく、これを小さくする努力が払われている。
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