引き上げ法とは? わかりやすく解説

引き上げ法

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/02/28 07:11 UTC 版)

コランダム」の記事における「引き上げ法」の解説

半導体用ケイ素単結晶製造広く行われるこの方法で、コランダムなどの単結晶作るともできる。これはポーランドジャン・チョクラルスキー1913年開発したところから、チョクラルスキー法CZ法とも呼ばれるルツボ原料入れて融解し、上から吊した種結晶原料液面触れさせると、種結晶方位通り液面再結晶してゆく。適切な速度結晶引き上げて長い単結晶作る。ただし、この方法でコランダムなどが作られたのは、1990年代後半である。格子欠陥少ない。

※この「引き上げ法」の解説は、「コランダム」の解説の一部です。
「引き上げ法」を含む「コランダム」の記事については、「コランダム」の概要を参照ください。

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