半絶縁性基板とは?

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半絶縁性基板

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2018/01/30 14:32 UTC 版)

半絶縁性基板(はんぜつえんせいきばん、: semi-insulating substrate)とは、ヒ化ガリウムリン化インジウム等の化合物半導体において、不純物を含まない(ドーピングされていない)基板において、高抵抗比抵抗:数MΩ/□)を示すことを言う。化合物半導体が高周波素子の作成に有利な理由は、高い電子移動度を持っているだけでなく、基板がこの様に高抵抗を示し、リーク電流や対地容量を抑えることが可能であることが大きい。




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