シリコン精製
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/05/08 05:45 UTC 版)
「ケイ素#製法」も参照 ノルウェーやブラジルで産出した純度の比較的高い石英を還元して、純度98 %程度の金属シリコンを作る。これを粉砕して塩素ガス、次いで水素ガスと反応させて、モノシラン (SiH4) やトリクロロシラン (SiHCl3) を作る。この過程で金属性の不純物はAlCl3やFeCl3のような塩化物として蒸発させトリクロロシランと分離することで金属性の不純物を1 ppba (parts per billion atomic) 以下まで取り除く。トリクロロシランは高純度の水素と CVD装置中に導入することで単体のシリコンを析出させ、高純度の多結晶シリコン・ロッドを得る。
※この「シリコン精製」の解説は、「シリコンウェハー」の解説の一部です。
「シリコン精製」を含む「シリコンウェハー」の記事については、「シリコンウェハー」の概要を参照ください。
ウィキペディア小見出し辞書の「シリコン精製」の項目はプログラムで機械的に意味や本文を生成しているため、不適切な項目が含まれていることもあります。ご了承くださいませ。
お問い合わせ。
- シリコン精製のページへのリンク
