イオン・ビーム

デジタル大辞泉

イオン‐ビーム【ion beam】

読み方：いおんびーむ

原子から取り出したイオンを高速加速して得られる光線状の流れ。固体に当てると内部にイオンがもぐりこむのを利用して、半導体への不純物注入や集積回路の作製、金属の表面加工などに用いられる。

超電導用語解説集

イオンビーム

　IBAD法において中間層を配向させるために、中間層元素をスパッタ蒸着する際に、Ar等をイオン化しアシストイオンビームとして材料に応じたある特定の角度から同時に照射する。

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イオンビーム

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/04/23 06:56 UTC 版)

「地球戦士ライーザ」の記事における「イオンビーム」の解説

イオンエネルギーで攻撃する太陽系で一番強い武器。ステーションピクセルで交換可能。