収束イオンビームとは? わかりやすく解説

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収束イオンビーム(FIB)

収束イオンビーム(FIB) 電子顕微鏡システムで、電子代わりにイオン用いた装置電子比べ10万倍重い質量(通常ガリウムイオンが使用される)の粒子線となるため、デカナノ(10-8 m)級の微細加工用いられる




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