vacuum evaporation

大車林

真空蒸着

英語 vacuum deposition； metalizing； vacuum evaporation

通常10-4Pa以下の減圧下で蒸着材料を加熱して蒸発させ、物体表面に凝固、堆積させることをいう。これにより金属はもとより、有機化合物や高分子などの薄膜をつくることも可能であり、自動車のオーナメントなどの装飾用に使用される。

※「大車林」の内容は、発行日である2004年時点の情報となっております。

走査電子顕微鏡基本用語集

真空蒸着　vacuum evaporation

真空中で金、金パラジウム、白金パラジウム、アルミニウム、カーボンなどの材料を蒸発あるいは昇華させて、試料表面に薄いコーティングをする技術。蒸着時の真空圧力は10^-3〜10^-2Pa程度で、残留ガス分子による蒸着金属原子の散乱が少ないため、一様な膜厚のコーティングをするためには試料の回転・傾斜を行う必要がある。

関連する用語

• コーティング
• 回転傾斜機構
• ジンバル機構

透過電子顕微鏡基本用語集

真空蒸着

【英】：vacuum evaporation (deposition)

高真空中で物質を加熱蒸発させ、固体表面(基板)上に、薄い物質層を作る手法。透過電子顕微鏡用には、均一な厚さを持つ金属、合金などの試料作製に利用される。

関連する用語

• 真空蒸着装置

説明に「真空蒸着」が含まれている用語

• エピタキシ
• 分子線エピタキシ