三省堂 大辞林

エピタキシー 3 [epitaxy]

真空中で単結晶の上に蒸着膜を成長させると単結晶状の薄膜が生じる現象。半導体では比抵抗の小さい基板の上に高抵抗の結晶膜をつくってダイオード・トランジスタの製作に利用される。エピタキシー成長。

IT用語辞典バイナリ

エピタキシ

別名：エピタキシャル成長
【英】epitaxy

エピタキシとは、単結晶基板上に結晶方位が揃った単結晶の薄膜を成長させる方法のことである。透過電子顕微鏡用の試料作製などに用いられる。

エピタキシで得られる薄膜結晶は、バルクの結晶に比べ結晶性、純度ともに優れており、また極めて薄い結晶膜や複雑な多層の結晶構造を作り出せることから、特に化合物半導体の分野では不可欠な技術となっている。原料物質の形態、成長に利用する原理により、気相エピタキシ、液相エピタキシ、分子線エピタキシなどの手法があり、これらの技術を用いてエミッタ-ベース間を接合、あるいはコレクタ-ベース間を接合することによってトランジスタを作ることができる。

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エピタキシ

【英】：epitaxy

結晶基板上に、真空蒸着法や化学的気相成長法（CVD）などを用いて、基板に用いられる結晶と特定の方位関係にある結晶膜を堆積成長させる結晶膜成長法のこと。

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