真空蒸着とは?

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真空蒸着

英語 vacuum depositionmetalizingvacuum evaporation

通常10-4Pa以下の減圧下で蒸着材料を加熱して蒸発させ、物体表面凝固堆積させることをいう。これにより金属もとより有機化合物高分子などの薄膜をつくることも可能であり、自動車オーナメントなどの装飾用に使用される。

※「大車林」の内容は、発行日である2004年時点の情報となっております。

真空蒸着

【英】:vacuum evaporation (deposition)

高真空中で物質加熱蒸発させ、固体表面(基板)上に、薄い物質層を作る手法透過電子顕微鏡用には、均一厚さを持つ金属合金などの試料作製利用される。

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蒸着

(真空蒸着 から転送)

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2017/06/15 19:47 UTC 版)

蒸着(じょうちゃく、英語:vapor deposition)とは、金属酸化物などを蒸発させて、素材の表面に付着させる表面処理あるいは薄膜を形成する方法の一種。蒸着は、物理蒸着(PVD)と化学蒸着(CVD)に大別される。ここでは主にPVDの一種である真空蒸着を解説する。




  1. ^ 草野英二; 大工原茂樹; 岡田修; 吉野幸夫; 谷典明; 深水克郎; 植木貴久, ed. (2006), 薄膜作製技術, 東京: リアライズ理工センター (2006-11発行), p. 89, ISBN 9784898080788 


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