三省堂 大辞林

しんくう-じょうちゃく 5 【真空蒸着】

真空中で金属や化合物などを加熱蒸発させ、その蒸気を物体表面に薄膜状につけること。レンズのコーティング、電子部品や半導体、集積回路、光学部品の反射膜など数ナノメートルから数マイクロメートルの膜の形成に利用する。

走査電子顕微鏡基本用語集

真空蒸着　vacuum evaporation

真空中で金、金パラジウム、白金パラジウム、アルミニウム、カーボンなどの材料を蒸発あるいは昇華させて、試料表面に薄いコーティングをする技術。蒸着時の真空圧力は10^-3〜10^-2Pa程度で、残留ガス分子による蒸着金属原子の散乱が少ないため、一様な膜厚のコーティングをするためには試料の回転・傾斜を行う必要がある。

関連する用語

• コーティング
• 回転傾斜機構
• ジンバル機構

透過電子顕微鏡基本用語集

真空蒸着

【英】：vacuum evaporation (deposition)

高真空中で物質を加熱蒸発させ、固体表面(基板)上に、薄い物質層を作る手法。透過電子顕微鏡用には、均一な厚さを持つ金属、合金などの試料作製に利用される。

関連する用語

• 真空蒸着装置

説明に「真空蒸着」が含まれている用語

• エピタキシ
• 分子線エピタキシ

ウィキペディア

蒸着

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2011/10/09 00:03 UTC 版)

(真空蒸着 から転送)

蒸着で鏡面化されたヘルメットのゴーグル

蒸着（じょうちゃく、deposition）とは、金属や酸化物などを蒸発させて、素材の表面に付着させる表面処理あるいは薄膜を形成する方法の一種。蒸着は、物理蒸着（PVD）と化学蒸着（CVD）に大別される。

ここでは主にPVDの一種である真空蒸着を解説する。