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走査電子顕微鏡基本用語集
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φ（ρZ）法（ファイローゼット法）　Φ(ρZ) method

定量分析における補正法の一つ。ZAF補正に比べて、X線発生量の深さ分布を、より実際的なものにしたことと、原子番号効果、吸収効果をまとめて扱うことで誤差を小さくしているため、軽元素領域での定量分析で精度の高い結果が得られる。

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