auger electron

デジタル大辞泉

オージェ‐でんし【オージェ電子】

読み方：おーじぇでんし

《Auger electron》励起した原子がオージェ効果によって特性X線のかわりに放出する電子。

走査電子顕微鏡基本用語集

オージェ電子　Auger electron

入射電子によって高いエネルギー準位に励起された原子が、低いエネルギー準位に遷移するときに、差のエネルギー（マイナス結合エネルギー）を持った電子が放出される。これをオージェ電子と言い、元素に特有なエネルギーを持つ。特性X線の励起とよく似た過程であるが、軽元素では、特性X線の放出よりオージェ電子の放出の確率が高い。

関連する用語

• 特性X線

透過電子顕微鏡基本用語集

オージェ電子

【英】：Auger electron

励起状態にある原子が基底状態に遷移するとき、そのエネルギーが特性X線の放出に用いられず、原子内の電子の放出に用いられるとき、この放出電子をという。のエネルギーは元素に固有であり、その脱出深さが非常に浅いので(0.5〜数nm)、固体の極表面の定性定量分析および電子状態分析（化学結合状態分析）に利用される。定量精度は約10％である。

説明に「オージェ電子」が含まれている用語

• オージェ電子
• 極表面
• 脱出深さ（電子などの）