誘導結合プラズマ質量分析装置（ICP-MS）
誘導結合プラズマ質量分析装置（ICP-MS;Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry）は、誘導結合プラズマ（ICP：大気圧のアルゴンガスに高周波エネルギーを与えることによって発生した放電プラズマ）をイオン化源とする質量分析装置で、極めて感度が高く、微量元素分析の高品位の装置である。通常、溶液試料をネブライザーで霧化して高温（6000K～10000K）のICP 中に導入し、試料を原子化、さらにイオン化させる。このようにして生成したイオンを高真空の質量分析装置（四重極型が一般的であるが最近は高分解能の機種がある）に誘引し、目的元素を質量分離して定性・定量する。 特徴としては、（1）分析可能な元素が多い（約64元素）、（2）高感度であるため検出限界が低い（ppb～ppt）、（3）検量線の直線領域が広い（６～８桁）、（4）多元素同時分析ができる、（5）定性、半定量分析が迅速にできる、ことがあげられる。
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