電界放出型電子銃

透過電子顕微鏡基本用語集

電界放出型電子銃

略語：FEG
【英】：field-emission electron gun

冷陰極タイプと熱電界タイプがある。超高真空下で細く尖らせた陰極(エミッタ)の先端に強い電界(高い電圧)をかけて電子を放出させる電子銃。熱電子放出型電子銃に比べ電流量は少ないが、輝度は10⁷〜10⁸と高い。電子は陰極の微小部分から放出され、初速度のばらつきが小さいので、微小プローブを作ることができ、高いエネルギー分解能を得ることができる。電子線ホログラフィーには不可欠である。

関連する用語

• 電界放出
• ショットキー効果
• 熱電界放出型電子銃
• 冷陰極電界放出型電子銃
• プローブ径
• エネルギー分解能
• 電子線ホログラフィー

説明に「電界放出型電子銃」が含まれている用語

• エネルギー分解能
• ショットキー型電子銃
• プローブ径
• ベーク装置
• モノクロメータ
• 引き出し電極
• 陰極
• 仮想光源
• 焼きだし（鏡筒内壁などの）
• 状態密度
• 電子線ホログラフィー
• 熱電界放出型電子銃