二次イオン質量分析法
(二次イオン質量分析 から転送)
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2024/07/19 05:32 UTC 版)
二次イオン質量分析法(にじイオンしつりょうぶんせきほう、英: Secondary Ion Mass Spectrometry、略称:SIMS)とは、質量分析法におけるイオン化方法の種類の一つである。特に固体の表面にビーム状のイオン(一次イオンと呼ばれる)を照射し、そのイオンと固体表面の分子・原子レベルでの衝突によって発生するイオン(二次イオンと呼ばれる)を質量分析計で検出する表面計測法である。
- 1 二次イオン質量分析法とは
- 2 二次イオン質量分析法の概要
二次イオン質量分析法と同じ種類の言葉
- 二次イオン質量分析法のページへのリンク