デバイス・プロセス設計
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/04/07 08:19 UTC 版)
「EDA (半導体)」の記事における「デバイス・プロセス設計」の解説
プロセス工程設計実際の半導体プロセス条件の最適化を行うプロセスシミュレーション。 デバイス設計デバイスの構造から特性の計算を行うデバイスシミュレーション。適切なデバイスの構造の条件を決定する。プロセス工程の設計とリンクした設計が可能。近年では、半導体製造を専門に請け負うファウンドリの登場により、デバイス・プロセス設計、モデルパラメータ抽出が不要となる場合が多い。 モデルパラメータ抽出測定結果やデバイスシミュレーションの結果から回路設計において必要なモデルパラメータを決定する。各種のモデル抽出用のCADツールを使用する。
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