ナノリソグラフィー【nanolithography】
ナノリソグラフィ
(Nanolithography から転送)
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2023/11/01 08:34 UTC 版)
ナノリソグラフィ (Nanolithography) はナノテクノロジーの一分野で原子から約100 nmの規模のナノメートルスケールの構造体やパターンの形成に用いられる。ナノリソグラフィは最先端の半導体集積回路（ナノ電子回路）やナノ電気機械システム (NEMS) の製造で活用される。
- ^ Alexander S. Urban, Andrey A. Lutich, Fenando D. Stefani, and Jochen Feldmann, "Laser Printing Single Gold Nanoparticles", Nano Letters, VOL. 10, NO. 12, OCTOBER 2010
- ^ Spas Nedev, Alexander S. Urban, Andrey A. Lutich, and Jochen Feldmann, "Optical Force Stamping Lithography", Nano Letters, VOL. 11, NO. 11, OCTOBER 2011
- ^ Dhara Parikh, Barry Craver, Hatem N. Nounu, Fu-On Fong, and John C. Wolfe, "Nanoscale Pattern Definition on Nonplanar Surfaces Using Ion Beam Proximity Lithography and Conformal Plasma-Deposited Resist", Journal of Microelectromechanical Systems, VOL. 17, NO. 3, JUNE 2008
- ^ J C Wolfe and B P Craver, "Neutral particle lithography: a simple solution to charge-related artefacts in ion beam proximity printing", J. Phys. D: Appl. Phys. 41 (2008) 024007 (12pp)
- ^ R. C. Davis et al. (2003). “Chemomechanical surface patterning and functionalization of silicon surfaces using an atomic force microscope”. Appl. Phys. Lett. 82 (5): 808–810. doi:10.1063/1.1535267. Related article
- ^ D. Wang, V. K. Kodali, W. D. Underwood, J. Jarvholm, T. Okada, S. C. Jones, M. Rumi, Z. Dai, W. P. King, S. R. Marder, J. E. Curtis, E. Riedo (2009). “Thermochemical Nanolithography of Multifunctional Nanotemplates for Assembling Nano-Objects”. Adv. Funct. Mat. 19: 3696–3702. doi:10.1002/adfm.200901057.
[続きの解説]
「ナノリソグラフィ」の続きの解説一覧
- 1 ナノリソグラフィとは
- 2 ナノリソグラフィの概要
- 3 光学リソグラフィ
- 4 外部リンク
- Nanolithographyのページへのリンク
