マイクロマシン技術
【英】Micro machine technology
マイクロマシン技術とは、機能要素の微小化、および機能要素からの微小なシステムの構成のことを意味する「マイクロマシン」に関連した技術の総称である。
マイクロマシンに関連した技術は非常に多岐にわたる。要素技術分野で分類した場合は、設計・材料・加工・機能要素・システム制御・エネルギー供給・接合組立・電子回路・評価などに関する技術、さらにそれらの基盤となるマイクロ環境での熱力学やトライボロジーなどといったマイクロ理工学などから構成されている。
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