マイクロメカトロニクスとは?

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マイクロメカトロニクス

【英】Micromechatronics

マイクロメカトロニクスとは、マイクロマシンナノテクノロジー応用して、従来機械とはスケール構造、製作原理まで全く異なった新し微細技術実現する技術総称である。

半導体製造技術進歩したことによって、メカトロニクススケールがさらに一層微小ものになることが要求されている。通常のメカトロニクス環境微小世界環境では、物理的環境大きく異なるので、それまで無視しても差し支えのなかった摩擦粘性問題、あるいは装置内での発熱処理などが、大きな課題となっている。

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