マイクロセンサー

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マイクロセンサー

【英】Micro sensor

マイクロセンサーとは、マイクロマシン技術によって作製された物理量や化学量を検出する微小な素子の総称である。マイクロセンサーはマイクロマシンの中でも最も早期に開発・実用化が進んだ分野である。

マイクロセンサーの種類としては、機械量・化学量・電気量・バイオ・光学センサーなど、様々なものが開発されている。センサーがマイクロ化されることによって、環境を乱さないこと、局所的な状態が計測できること、回路と一体化できること、省電力化できること、といった利点がある。

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