マイクロセンサーとは?

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マイクロセンサー

【英】Micro sensor

マイクロセンサーとは、マイクロマシン技術によって作製された物理量化学量検出する微小素子総称である。マイクロセンサーはマイクロマシン中でも最も早期開発実用化が進んだ分野である。

マイクロセンサーの種類としては、機械量・化学量・電気量バイオ光学センサーなど、様々なものが開発されている。センサーマイクロ化されることによって、環境を乱さないこと、局所的な状態が計測できること、回路一体化できること、省電力化できること、といった利点がある。




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