FZ法

超電導用語解説集

ゾーンメルト法、浮融帯溶融法（FZ法）

　通常鉛直に保持した試料棒の一部を加熱して溶融部をつくり、その液相部を表面張力によって支えながら上あるいは下方に移動させることにより凝固・結晶成長させる手法。種結晶を用いるか、初めにくびれを作ってやることにより単結晶が得られやすい。RE123結晶では成長初期における選択成長により単一結晶粒の成長も得られる。

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FZ法

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/05/08 05:45 UTC 版)

「シリコンウェハー」の記事における「FZ法」の解説

多結晶シリコンのインゴットを部分的に溶融しながら単結晶化を行う方法でゾーンメルト法の一種。結晶の成長方向の不純物分布が一定であり、また酸素濃度が非常に少ないという利点があるが、結晶の半径方向の抵抗率分布にばらつきがあるため、中性子照射により抵抗率の均一化が図られる。