電子エネルギー損失分光(イールス)
【英】:electron energy-loss spectroscopy
入射電子が試料を構成する原子に衝突するとき、結晶中の電子や結晶格子と相互作用をしてそのエネルギーを一部失って(速度が遅くなる)散乱される電子を非弾性散乱電子という。この電子のエネルギーを分光して、微小領域から元素の定性定量分析や電子状態を解析する手法をいう。分析対象となる非弾性散乱は、内殻電子励起、通称コア励起 (50〜2000eV)、価電子の励起によるバンド間遷移 (0〜10eV)、自由電子の集団振動によるプラズモン励起 (10〜50eV)である。
電子エネルギー損失分光(イールス)
【英】:electron energy-loss spectroscopy
入射電子が試料を構成する原子に衝突するとき、結晶中の電子や結晶格子と相互作用をしてそのエネルギーを一部失って(速度が遅くなる)散乱される電子を非弾性散乱電子という。この電子のエネルギーを分光して、微小領域から元素の定性定量分析や電子状態を解析する手法をいう。分析対象となる非弾性散乱は、内殻電子励起、通称コア励起 (50〜2000eV)、価電子の励起によるバンド間遷移 (0〜10eV)、自由電子の集団振動によるプラズモン励起 (10〜50eV)である。
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