透過EELS
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/08/30 14:45 UTC 版)
「電子エネルギー損失分光」の記事における「透過EELS」の解説
透過型電子顕微鏡によって薄膜を透過した電子を測定し、厚み方向に平均化した情報を解析することで薄膜のバルク分析ができる。 エネルギー分解能はEDSよりはるかに高いため、元素分析だけでなく状態分析もできる。 照射する電子線を1nm以下に絞ることで、固体の局所的な状態分析ができる。 照射する電子は100〜1000keVと高エネルギーである。
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