反射EELSとは? わかりやすく解説

反射EELS

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/08/30 14:45 UTC 版)

電子エネルギー損失分光」の記事における「反射EELS」の解説

1〜2000eV程度低速電子用いるため、低エネルギーEELS(LEELS)とも呼ばれる固体表面の数原子の層や、表面吸着した分子などの表面分析ができる。 特にミリeVEELS高エネルギー分解能測定する方法を、高分解能EELS(HREELS)と呼ぶ。 また損失ピーク角度依存性測定して表面状態詳細に分析する方法角度分解EELS(AR-EELS )と呼ぶ。

※この「反射EELS」の解説は、「電子エネルギー損失分光」の解説の一部です。
「反射EELS」を含む「電子エネルギー損失分光」の記事については、「電子エネルギー損失分光」の概要を参照ください。

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