原子間力顕微鏡

デジタル大辞泉

げんしかんりょく‐けんびきょう〔‐ケンビキヤウ〕【原子間力顕微鏡】

読み方：げんしかんりょくけんびきょう

走査型プローブ顕微鏡の一。鋭くとがった探針（プローブ）を試料表面に近づけたり接触させたりして、それらの原子間にはたらく力を利用し、原子レベルで試料表面の立体構造を観察する顕微鏡。走査型トンネル顕微鏡と異なり、絶縁性の試料でも観察できる。1985年、走査型トンネル顕微鏡を発明したドイツのG＝ビーニッヒにより開発された。AFM（atomic force microscope）。