光学式振動計
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2017/04/08 15:29 UTC 版)
主にレーザーを使用して振動を光学的に検出して数値化する。光電変換素子を使用して電気信号に変換後、電気的に増幅できるので高感度化が可能。ピックアップコイルや圧電素子のような計測用のプローブを計測対象に設置せずに非接触で計測できるのでプローブを設置すると振動数に影響を与えるような微小な物体や高温の物体、液面のようなそもそもプローブの設置の困難な計測対象も計測可能。光学振動計の原理は数種類あり、三角測量の原理で光位置センサを利用する形式と干渉計の原理で位相のずれによって生じる濃淡を光センサーで検出する方法(光ヘテロダイン式)等がある。
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