ペニング真空計とは？ わかりやすく解説

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ペニング真空計

【英】：Penning (vacuum) gauge

冷陰極電離真空計の一種。一対の平行平板電極間に環状電極(陽極)を置き、それらの軸に平行に磁界をかけ、電子の飛程を長くすることで低い圧力でも持続的に放電を起こさせ、中〜高真空領域での圧力を測定する真空計。測定範囲は1〜10-4Pa。放電電流は圧力に比例する。堅牢で使い勝手が良いことから、電顕では油拡散ポンプ（DP)からスパッタイオンポンプ（SIP)引きへ切り替える制御用に使われている。

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