高真空制御機構

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高真空制御機構

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)

「電子線描画装置」の記事における「高真空制御機構」の解説

電子線が通る部分は高真空を安定的に保持しなければならないため、ロータリーポンプ、ターボ分子ポンプ、イオンポンプなどを併用して最大で10^-8Pa程度の真空状態を保っている。また、ペニング真空計、電離真空計などの真空計により常に真空度の確認を行っている。電子銃がT-FEGの場合、電子銃周辺は10^-7Pa程度の真空度が必要である。