エッジ効果 edge effect
- 試料表面に微細な突起やステップ状の構造があると、突起の先端やエッジ部分が、ある幅を持って明るくなる現象。明るい部分の幅は加速電圧が高いほど広くなる。原因は、試料中での入射電子の拡散によって側面から二次電子が放出されるためで、加速電圧が高いほど入射電子の拡散が大きくなるためである。
下図のSEM像は、アルミニウムの破断面を加速電圧15kV（左）と3kV（右）で撮影したものである。加速電圧が高いとエッジ状の部分が幅広く明るく見える。
下図左の高加速電圧の場合は、電子プローブの照射位置が試料エッジから離れていても、大きな拡散領域が側面からの二次電子脱出可能深さに達するので二次電子が側面から放出される。一方、右の低加速電圧では、電子プローブが試料エッジに近づかなければ側面からの二次電子放出は無い。この結果電子プローブを走査すると、二次電子放出量は高加速電圧ではなだらかな立ち上がりとなり、低加速電圧では急峻な立ち上がりとなる。
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