高分解能電子顕微鏡法(ヘレム)
【英】:high-resolution electron microscopy
球面収差の小さい対物レンズを用いた透過電子顕微鏡で、薄い試料からの透過波と回折波を干渉させて格子像や結晶構造像を得る手法。電子線の入射方向を晶帯軸に正確に合わせ、対物レンズのフォーカスをシェルツァー フォーカス条件に合わせると、結晶の構造をよく表す像が得られる。像の分解能は対物レンズの球面収差や入射電子線の加速電圧に依存する。試料が厚い場合には動力学的回折の影響のために、得られた像は結晶の構造に直接は対応しなくなる。HAADF-STEMとの併用により、像の解釈の信頼性は高くなる。結晶構造や界面、格子欠陥などの構造の解析に利用される。
高分解能電子顕微鏡法(ヘレム)
【英】:high-resolution electron microscopy
球面収差の小さい対物レンズを用いた透過電子顕微鏡で、薄い試料からの透過波と回折波を干渉させて格子像や結晶構造像を得る手法。電子線の入射方向を晶帯軸に正確に合わせ、対物レンズのフォーカスをシェルツァー フォーカス条件に合わせると、結晶の構造をよく表す像が得られる。像の分解能は対物レンズの球面収差や入射電子線の加速電圧に依存する。試料が厚い場合には動力学的回折の影響のために、得られた像は結晶の構造に直接は対応しなくなる。HAADF-STEMとの併用により、像の解釈の信頼性は高くなる。結晶構造や界面、格子欠陥などの構造の解析に利用される。
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