ダイナミックフォーカスとは? わかりやすく解説

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ダイナミックフォーカス dynamic focus

電子プローブ走査同期して、フォーカス少しずつ変えることで、フォーカス面を傾け機能平面状の試料大きく傾斜すると、傾斜方向焦点深度上のフォーカスずれが起きるので、これに対す補正手段として使われる
下図にダイナミックフォーカスの動作原理図を示す。左はダイナミックフォーカスが行われていない状態で、フォーカス面と試料表面一致していないため焦点ずれが起きている。右は電子プローブ走査同期してダイナミックフォーカスコイルの強さ変えることでフォーカス面と試料表面一致させており、常に焦点合った状態に保たれていることを示している。
ダイナミックフォーカス

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