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走査電子顕微鏡基本用語集

走査電子顕微鏡　SEM: scanning electron microscope

細い電子プローブで試料表面を走査したとき、電子プローブの照射点から放出される種々の電子、電磁波を検出して画像化する装置。電子プローブを作り走査する電子光学系、信号を検出する検出器、試料を保持する試料ステージ、画像を表示・記録するためのモニター・記録系、種々の操作をするための操作系、鏡筒や試料室を真空にするための真空排気系などから構成される。

関連する用語

• 電子プローブ
• 走査
• 電子光学系
• 試料ステージ
• モニター
• 操作系
• 真空排気系

走査電子顕微鏡学　SEM: scanning electron microscopy

走査電子顕微鏡の電子光学系、検出器、形像コントラストなどを理論的に扱ったり、走査電子顕微鏡の使い方、試料作製法などを扱う学問。

関連する用語

• 電子光学系
• コントラスト

走査電子顕微鏡法　SEM: scanning electron microscopy

走査電子顕微鏡を使った観察法。