ショットキー電子銃(SE電子銃) Schottky-emission electron gun,SE electron gun
- ショットキー放出を利用した電子銃。陰極としてはZrO/Wエミッタが使われる。熱電子銃と比べて輝度が高く、電子源も小さい。電界放出電子銃と比較すると、陰極が1800Kという高温度に加熱されているため、電流安定度が高いこと、大きなプローブ電流が得られること、動作圧力が若干高くても良いこと、などの優位性を持つ。これらのことから、高分解能観察と分析機能を両立させたいときに用いられる。低加速電圧観察では、電界放出電子銃がやや優れているが、これは、放出電子のエネルギー幅が関係している。加熱形FE電子銃と呼ばれることもある。
下図にショットキー電子銃の構造を示す。引出電極に印加された引出電圧によって所定の電流の電子を放出させ、加速電極に印加された加速電圧によって所定のエネルギーの電子線を得るものである。サプレッサはエミッタから放出される熱電子を抑制するための電極である。
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