低加速電圧観察とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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低加速電圧観察　LVSEM: low-voltage observation,low-voltage scanning electron microscopy

数kVより低い加速電圧を使った観察。熱電子銃 SEMでは5kV程度まで低加速電圧として扱うが、FESEMでは1〜2kV以下を意味することが多い。目的は、表面観察、非導電性試料の観察、試料損傷の低減などである。

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