対物レンズとは? わかりやすく解説

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対物レンズ(オブジェクティブレンズ)

【英】:objective lens

試料を出射した電子結像するための初段レンズ結像レンズ系の中で最も重要なレンズであり、対物レンズの性能が像の質(分解能コントラストなど)を、ほぼ決める。良い対物レンズとは球面収差係数色収差係数小さレンズである。これらの値を小さくするにはポールピースの穴径を小さくすることと、上と下極の距離を短くすることが必要である。両極の間には通常サイドエントリータイプの試料ホルダが入るので、距離を短くするには限度がある。トップエントリータイプのホルダに対しては上極の穴径が下極の穴径より大きい非対称ポールピース使われる

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