objective lens

走査電子顕微鏡基本用語集

対物レンズ　OL: objective lens

試料の直前に置かれた最終段の電子プローブ形成レンズ。このレンズの収差が電子プローブ径すなわち解像力を決めるので、非常に重要なレンズである。操作上では焦点合わせに使われる。目的に合わせてアウトレンズ形、シュノーケル形、インレンズ形の三種類のレンズが用いられる。下図に示すのは最も多く使われているアウトレンズ形対物レンズである。

関連する用語

• アウトレンズ形対物レンズ
• シュノーケル形対物レンズ
• インレンズ形対物レンズ
• 電子プローブ径
• 収差
• 解像力
• 焦点合わせ

透過電子顕微鏡基本用語集

対物レンズ（オブジェクティブレンズ）

【英】：objective lens

試料を出射した電子で結像するための初段のレンズ。結像レンズ系の中で最も重要なレンズであり、対物レンズの性能が像の質(分解能、コントラストなど)を、ほぼ決める。良い対物レンズとは球面収差係数と色収差係数が小さいレンズである。これらの値を小さくするにはポールピースの穴径を小さくすることと、上極と下極の距離を短くすることが必要である。両極の間には通常サイドエントリータイプの試料ホルダが入るので、距離を短くするには限度がある。トップエントリータイプのホルダに対しては上極の穴径が下極の穴径より大きい非対称なポールピースが使われる。

関連する用語

• 高分解能用ポールピース
• 分析用ポールピース
• ハイコントラスト用ポールピース