加速度・傾斜センサー

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加速度・傾斜センサー

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2019/06/14 01:27 UTC 版)

「球状半導体」の記事における「加速度・傾斜センサー」の解説

犠牲層エッチングによりシリコンボールと外殻（シェル）の間に数μｍの空間を形成するとシリコンボールはシェルの中で自由に動けるようになり、加速時や傾斜時に内部のシリコンボールがシェル内で転がることにより、ボールとシェルの間隔が変化するのでその静電容量変化を検出して電気信号処理することにより、3次元の静電浮上型・加速度・傾斜センサーが実現できる。