凹凸像 topographic image
- 光軸に関して対称に置いた二つの検出器で反射電子を検出する場合、検出器の出力の差を信号としてSEM像を作ると、組成情報を打ち消して凹凸情報のみを得ることができる。これを凹凸像と言う。比較的低角度の一方向から照明を当てたような像になるため、二次電子像では見にくいなだらかな凹凸でも高いコントラストで観察することができるのが特長である。ただし、反射電子を使うことから解像力はある程度低くなる。
下図は、凹凸像を得るための検出器で出力A-出力Bの信号を用いることで検出器Aの方向から光を当てたようなコントラストの像を得ることができる。なお、出力A+出力Bを信号として像を作ると組成像を得ることができる。
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