リソグラフィ

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リソグラフィ

【英】Lithography

リソグラフィとは、半導体を製造する際に、基板に光や電子ビームなどで回路パターンを転写する手法のことである。特に露光装置（ステッパ）を指してリソグラフィと呼ぶこともある。

リソグラフィの手法では、光性樹脂の膜が形成された基板上に、光や電子ビームなどで回路パターンを現像し、さらに保護膜としての薄膜を化学加工して、半導体として製造される。半導体の微細化に伴って、使用される光は短波長に移行しており、最近では短波長の限界である極紫外線領域にも達しようとしている。ちなみに、リソグラフィは元々「石版印刷」を意味し、リトグラフィあるいはリトグラフなどとも発音される。

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