エネルギーフィルタとは? わかりやすく解説

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エネルギーフィルタ

【英】:energy filter

試料から出射す電子の内、特定のエネルギーを持つ電子のみを選択する装置。を使い、特に弾性散乱電子のみを選択すると、非弾性散乱電子によるバックグラウンド取り除かれるので、明瞭な像や回折図形を得ることができ、精度の高い構造情報得られる。また特定の元素吸収端エネルギー選択すると、その元素マッピングができる。には、透過電子顕微鏡鏡筒内に組み込むタイプ鏡筒の下に付加するタイプがあり、前者をインコラム型、後者をポストコラム型という。デザインの違う様々ながある。

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