三省堂 大辞林

そうさ-がたでんしけんびきょう ―けんびきやう 0 【走査型電子顕微鏡】

〔scanning electron microscope〕試料に電子ビームを当て、表面から放出された二次電子をとらえてブラウン管上に表示する電子顕微鏡。走査電子顕微鏡。セム（SEM）。

スラグ用語集

走査型電子顕微鏡

読み方：そうさせんでんしけんびきょう
【英】：SEM,scanning electron microscope

電子波の波長の短いことを利用した電子線の電子光学的結像によって、光学顕微鏡では不可能な試料の高倍率、高分解能の像をうる電子顕微鏡の一種である。試料上を電子線探針で走査し、試料からの透過あるいは反射電子の強弱を探針と同期して走査している観察上ブラウン管の像面上で見る。分解能は探針の大きさで決まり、10nm程度までできる。

ウィキペディア

走査型電子顕微鏡

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2011/02/27 19:24 UTC 版)

SEM（Cambridge S150）の操作風景。Geological Institute, University Kiel, 1980

SEMの試料室。この中に試料をセットして観察する。この写真では試料室全体がオープンになっているが、高真空を維持する為に試料交換室を設け、試料の出し入れ時にも試料室の真空が保たれる構造になっているSEMもある。

走査型電子顕微鏡で撮影された様々な植物の花粉。原図の倍率は約500倍。観察方向（ビームの入射方向）に対して垂直な面は暗く、平行な面ほど明るく見える。陰影の付き方（右上方向が明るい）は検出器の位置による。

走査型電子顕微鏡（そうさがたでんしけんびきょう、Scanning Electron Microscope、SEM）は電子顕微鏡の一種である。電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子、透過電子、X線、カソードルミネッセンス（蛍光）、内部起電力等を検出する事で対象を観察する。通常は二次電子像が利用される。