走査型電子顕微鏡

デジタル大辞泉

そうさがたでんし‐けんびきょう〔‐ケンビキヤウ〕【走査型電子顕微鏡】

読み方：そうさがたでんしけんびきょう

電子顕微鏡の一。試料を電子線で走査し、試料から出る二次電子などを検出することで試料表面の観察を行う。光学顕微鏡に比べ、表面の立体構造の観察に適している。細胞のような生体試料の場合は、あらかじめ金や白金パラジウムなどを蒸着する必要がある。SEM(セム)（scanning electron microscope）。

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走査型電子顕微鏡

読み方：そうさせんでんしけんびきょう
【英】：SEM,scanning electron microscope

電子波の波長の短いことを利用した電子線の電子光学的結像によって、光学顕微鏡では不可能な試料の高倍率、高分解能の像をうる電子顕微鏡の一種である。試料上を電子線探針で走査し、試料からの透過あるいは反射電子の強弱を探針と同期して走査している観察上ブラウン管の像面上で見る。分解能は探針の大きさで決まり、10nm程度までできる。

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走査型電子顕微鏡

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2023/02/26 21:40 UTC 版)

走査型電子顕微鏡（そうさがたでんしけんびきょう、英語: scanning electron microscope、SEM）は電子顕微鏡の一種である。電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子（後方散乱電子、BSE）、透過電子、X線、カソードルミネッセンス（蛍光）、内部起電力等を検出する事で対象を観察する。通常は二次電子像が利用される。透過電子を利用したものはSTEM（走査型透過電子顕微鏡）と呼ばれる。

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走査型電子顕微鏡

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/08/10 17:11 UTC 版)

「電子顕微鏡」の記事における「走査型電子顕微鏡」の解説

走査型電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope; SEM)は観察対象に電子線をあて、そこから反射してきた電子（または二次電子）から得られる像を観察する顕微鏡。走査型の名は、対象に電子線を当てる位置を少しずつずらしてスキャン（走査）しながら顕微鏡像が形づくられることから。電子は検出器に集められ、コンピュータを用いて2次元の像が表示される。 対象の表面の形状や凹凸の様子、比較的表面に近い部分の内部構造を観察するのに優れている。以前は観察対象が導電性のないものの場合、電子線をあて続けると表面が帯電してしまい、反射する電子のパターンが乱れるため、観察対象の表面をあらかじめ導電性を持つ物質で薄くコーティングしておくことが行われていたが、近年は前処理不要で低真空にて観察できる製品も増えてきている。 また、両者の特徴を合わせ持つ走査型透過電子顕微鏡 (Scanning Transmission Electron Microscope; STEM) も近年注目されつつある。