三省堂 大辞林

にじでんし 3 【二次電子】

電子が金属や絶縁物に衝突したとき、その表面から放出される電子。衝突した電子を一次電子と呼ぶのに対していう。

走査電子顕微鏡基本用語集

二次電子　SE: secondary electron

入射電子の非弾性散乱によって、固体内の電子が励起され、真空中に放出されたもの。そのエネルギーは一般に50eV以下として定義される。エネルギーが小さいため、試料内部で発生したものは試料中で吸収され、表面近くで発生したものだけが試料表面から放出される。実際に二次電子検出器で検出されるものには、入射電子が直接励起したもの（SE1）のほか、反射電子が試料表面や試料近傍の構造物で励起したもの（SE2、SE3）などが、混在している。なお、広義の二次電子として一次電子以外のもの全てを二次電子と言うことがあり、この場合は反射電子も含まれる。

関連する用語

• 非弾性散乱
• 二次電子検出器
• 反射電子
• SE1
• SE2
• SE3
• 一次電子

透過電子顕微鏡基本用語集

二次電子

【英】：secondary electron

入射電子が試料内で衝突を繰り返しながらエネルギーを失い(非弾性散乱)、その過程で試料を構成している原子の外殻電子が弾き飛ばされ、この電子の一部が試料物質の束縛エネルギーに打ち勝って、試料表面から放出される電子のこと。のエネルギーは低く(通常、数10eV)、試料表面近く(深さ10nm以内)で発生したものしか表面から飛び出すことができない。の放出効率は電子線の試料への入射角が斜め入射になるほど大きい。この放出効率の違いを利用して像では試料表面の形態がわかる。

関連する用語

• 二次電子検出器
• 反射電子

説明に「二次電子」が含まれている用語

• シンチレータ（蛍光物質）
• マイクロチャンネルプレート
• 光電子増倍管（フォトマル）
• 走査低エネルギー電子顕微鏡
• 走査電子顕微鏡
• 脱出深さ（電子などの）
• 二次電子
• 二次電子検出器
• 反射電子
• 反射電子検出器