走査電子顕微鏡基本用語集

カソードルミネッセンス　CL: cathodoluminescence

入射電子により、試料を構成する原子の価電子帯の電子が励起され、生成された正孔と電子が再結合するときに放出される光。分光することにより状態分析を行ったり、強度の違いを可視化することでSEM像を作ることができる。発光現象の研究のほか、格子欠陥を観察したり、不純物のエネルギー準位、試料の歪み量などを調べることができる。エネルギー分解能は数meV、検出感度は高く、試料によってはppmオーダーの濃度変化を反映する場合もある。空間分解能は半導体では電子・正孔対の拡がりで決まり、バルク試料では1µm程度である。有機物では電子プローブ径で決まる。

関連する用語

• 状態分析
• エネルギー分解能
• 検出感度
• 空間分解能
• 電子プローブ径

ウィキペディア

カソードルミネッセンス

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2012/02/19 09:05 UTC 版)

カソードルミネセンス (Cathode luminescence, CL) とは、物質に電子線を照射することによって発光させるルミネッセンスのことである。主にブラウン管に利用されている。 固体内に電子が侵入し，電子が電気的相互作用によりエネルギーを失う際にプラズモンが生成される．プラズモンは価電子の集合励起状態であるが，10-15　sないしそれ以下の時間に一電子励起に変換される．新たに作られた電子は十分なエネルギーをもっているので，オージェ過程によりさらに多数の電子・正孔対を生み出す．こうして生じた電子・正孔対がなんらかの過程をへて再結合し，そのエネルギーが発光に変換される．