シリコンドリフト検出器とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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シリコンドリフト検出器　SDD: silicon-drift detector

EDS検出器の一種。通常の Si(Li)検出器に比べて数十倍高い計数率で測定ができるため、プローブ電流を大きくして短時間で分析を行うことができる。したがって、熱電子銃、あるいはショットキー電子銃を搭載した SEMとの組み合わせが有効である。エネルギー分解能は、Si(Li)検出器とほぼ同程度が得られるが、低エネルギー X線の感度は低い。液体窒素冷却は不要で、ペルチェ冷却での動作が可能である。この結果、電源投入後、使用可能になるまでの時間も短い。

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