ロンチグラム法
元来は光学におけるレンズの性能を検査するために後焦点面での干渉パターンを利用する方法。電子顕微鏡法では、STEMにおいて入射プローブの試料への焦点合わせのために使われる。すなわち、大きな入射角のビームを用いて後焦点面での回折波同士の干渉パターンを観察する。干渉パターンの中に結晶の格子面による縞が観察されれば、焦点におけるプローブ径が格子面間隔より小さくなっている。プローブの焦点位置を変えて縞幅が大きくなり、ついに一様なコントラストになったところで、プローブの焦点が試料上にきたことを確認できる。回折ディスクが真円であれば非点収差(軸上)が補正されている。
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