Cryopump

透過電子顕微鏡基本用語集

クライオポンプ

【英】：cryo pump

液体ヘリウムなどの冷媒により極低温の面を作り、そこに気体分子を吸着させ、高真空を得るポンプ。使用圧力範囲は10^-2〜10^-13Pa。ただし、水素、ヘリウム、ネオンの吸着には不適。透過電子顕微鏡の試料室では液体窒素で冷却したフィンを用いて高真空化を図っている。

実用空調関連用語

クライオポンプ cryopump

真空容器内に極低温冷却面を作り、その上に気体を凝縮させることにより、 容器内の圧力を減少させるポンプのこと。冷却面材には銅、アルミニウム、 ステンレスなどが、冷却媒体には液体ヘリウムや液体水素などが用いられている。15K以下の温度の冷却面を用いて、10^-10Torrが可能である。最近は小型ヘリウム冷凍機を用いたポンプも市販されている。

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クライオポンプ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/11/06 10:06 UTC 版)

クライオポンプは、真空ポンプの一つ。気体分子を極低温面に凝縮させて捕捉する、気体溜め込み式真空ポンプである。ここでは、ソープションポンプの機能を付加したクライオソープションポンプについても言及する。