電源フィードスルー
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2010/03/26 00:23 UTC 版)
「真空フィードスルー」の記事における「電源フィードスルー」の解説
電源を供給するためには高い電圧を近くの伝導体（例えば装置の壁や隣の端子）から絶縁し、大きな電流に耐えなければいけない。電圧に対して真空内部では10-4Torr以下に保たれていれば、真空自体が1mm毎に1kVの電圧にも耐える絶縁機構となる（ただし、電気伝導体の表面がなめらかである場合）。しかし、それ以上の電圧（特に20kVを超える場合）においては、フィードスルーの全体を絶縁体で覆う必要がある。また、大きな電流に対しては、径の太い電気伝導体が用いられる。
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