電気フィードスルー
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2010/03/26 00:23 UTC 版)
「真空フィードスルー」の記事における「電気フィードスルー」の解説
電気を真空へ送るためのフィードスルーは二つに大別できる。一つは、真空内部のにある機器に電源を供給するためのもの（電源フィードスルー）であり、もう一つは真空内部にある機器との電気信号のための（機器フィードスルー）である。いずれにせよ、真空壁への取り付けには絶縁を要するが、絶縁にはアルミナなどのセラミックが使用され、ろう付けやコバール接続などで取り付けられる。
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