出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/07/20 08:33 UTC 版)
鋭利に尖ったプローブを用いて、原子レベルで結晶表面の格子欠陥を直接観察し、構造、電子状態、反応機構などを解析できる。また、格子欠陥のマニピュレーションなども可能である。
※この「走査プローブ顕微鏡」の解説は、「格子欠陥」の解説の一部です。
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