色収差
【英】:chromatic aberration
入射電子線や試料を透過した電子線のエネルギー(波長)が様々な要因で拡がり(幅)を持つと、レンズでの屈折角度が波長によって異なるため、結像の際、像がぼけること。電子線のエネルギーの拡がりは、加速電圧の不安定、電子銃からの放出電子の初速度のばらつき、ベルシュ効果や、レンズコイルの励磁電流の変動による焦点距離の変動などで起きる。また、試料が厚くなると(10nm以上)、非弾性散乱による電子エネルギーの損失(波長の変化)もを引き起こす。
入射電子線や試料を透過した電子線のエネルギー(波長)が様々な要因で拡がり(幅)を持つと、レンズでの屈折角度が波長によって異なるため、結像の際、像がぼけること。電子線のエネルギーの拡がりは、加速電圧の不安定、電子銃からの放出電子の初速度のばらつき、ベルシュ効果や、レンズコイルの励磁電流の変動による焦点距離の変動などで起きる。また、試料が厚くなると(10nm以上)、非弾性散乱による電子エネルギーの損失(波長の変化)もを引き起こす。
- アナプラート
- インフォーメーションリミット
- エンベロープ(包絡)関数
- ベルシュ効果
- 後方磁界
- 色収差
- 走査電子顕微鏡
- 対物レンズ(オブジェクティブレンズ)
- 励磁電流
色収差と同じ種類の言葉
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